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等离子清洗机
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威尼斯人3940com 威尼斯人81818官方网站 等离子刻蚀机 6~8英寸标准型刻蚀机 6~8英寸标准型等离子刻蚀机

6~8英寸标准型等离子刻蚀机...

产品型号:TS-VPK

产品概况: 标准6~8英寸晶圆片刻蚀机,用于手机、半导体电子等多个行业

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产品特点


应用领域:适用于大学、研究院所、企业研发礼构通用的等离子体刻蚀的科研与教学或者小批量量产。

等离子刻蚀方式:RIE反应离子刻蚀或

样片数量及尺寸:1片φ6英寸、8英寸

刻蚀材料:包括并不限于单晶硅、多晶硅、Si02,Si3N4,Ti,W、聚合物等

刻蚀腔体:高真空系统

刻蚀不均匀性:±3%-+6%

刻蚀速率:0.1-4um/min(视具体材料与工艺)

工作台:可升降,包含水冷

电源配置:上电极射频,下电极偏压,包含自动匹配

气路数量与种类:6路耐氟基腐蚀气路或用户选配

操作模式:PLC+电脑显示屏,全自动+半自动控制


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